1.         

诺思（绵阳）微系统有限公司诺思（绵阳）微系统项目（一期）

环境影响报告表

游仙高新技术产业园区

诺思（绵阳）微系统有限公司

信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司

   诺思（绵阳）微系统有限公司拟在游仙高新技术产业园区实施“诺思（绵阳）微系统项目（一期）”，项目主要建设内容为在租用的厂房内安装气相沉积、光刻、铜制程、化学机械抛光、检测等工序设备，建设1条8英寸集成电路生产线，并配套建设化学品供应系统、特气供应系统、危险品贮运、动力系统、“三废”治理等辅助、环保设施。本项目建成后，形成年产8英寸滤波器芯片72万片的生产能力。

项目总投资90000万元，其中环保投资5580万元。

项目主要的污染防治措施：

项目产生的酸性废气经碱液喷淋吸收塔处理后达标排放；碱性废气经酸液喷淋吸收塔处理后达标排放；有机废气经沸石浓缩转轮焚烧系统处理后达标排放；工艺尾气经电热解+水洗式源头净化装置（POU）+碱液喷淋吸收塔处理后达标排放；废水处理站产生废气经碱液喷淋吸收塔处理后达标排放。报告表确定在化学品库边界外设置100m的卫生防护距离，控制和减小无组织排放废气对周围环境的不利影响，该范围内现无人居分布。

项目采取分类分质方式处理生产废水。项目产生的含氨废水、碱性废气洗涤塔排水经 “吹脱+硫酸吸收”进行预处理；含氟废水、酸性废气洗涤塔排水、源头净化装置（POU）排水经 “CaCl₂混凝沉淀”进行预处理；含铜废水、研磨废水分别经 “混凝沉淀”进行预处理；工艺酸碱废水经“中和槽”进行预处理；上述各类废水经预处理后，与初纯水制备废水（超滤及edi反洗水）一并经“酸碱中和”处理后，再与冷却塔排水及预处理后的生活污水一起达到《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准、《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T 31962-2015）B等级标准以及绵阳游仙经济开发区污水处理厂一期工程进水水质要求后，通过园区污水管网进入绵阳游仙经济开发区污水处理厂一期工程，处理达《城镇污水处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）一级A标准后排入涪江。

项目噪声源主要为风机、水泵、冷却塔、空压机、柴油发电机等动力设备，通过选用低噪声设备，采用减振、消声、隔声等措施，可实现噪声厂界达标排放。

项目产生的废混酸、废异丙醇、废氨水、废四甲基氢氧化铵、废光刻胶洗边剂（含光刻胶）、废丙酮/N-甲基吡咯烷酮（含光刻胶）、废碘液、废矿物油、废离子交换树脂、抹布/手套等（沾化学物质清洗杂物等）、废化学品容器、废铅酸电池/镉电池（UPS系统）、含铜污泥等属危险废物，送有危险废物处理资质的单位处置；硫酸铵废液为待鉴定废物，根据其鉴定结果合理处置，鉴定结果前参照危险废物暂存及处置要求进行管理；含氟系统污泥、研磨系统污泥交由一般固废协同处置企业进行资源化利用或填埋；废芯片、废研磨垫、废包装材料外售综合利用；废铜电极、废靶材由原厂回收；办公生活垃圾和生活污水预处理池污泥由市政环卫部门统一清运。

项目将综合生产厂房（生产支持区、化学品供应间、废水处理站、废液收集罐区、污泥暂存间、研磨液供应间、柴油发电机房、事故应急池）和化学品库等区域设置为重点防渗区，采用相应防渗措施（渗透系数≤1×10^-10cm/s），并布设地下水监测井进行监测监控，防止地下水和土壤环境污染。

项目位于游仙高新技术产业园区，项目已取得绵阳市游仙区自然资源局出具的《绵阳市游仙区自然资源局关于诺思（绵阳）微系统项目（一期）项目用地性质符合性审查的复函》，符合当地相关规划要求。