诺思（绵阳）微系统有限公司：

你公司《诺思（绵阳）微系统项目（一期）环境影响报告表》（下称报告表）收悉。经研究，批复如下：

一、你公司拟在游仙高新技术产业园区内，租用绵阳惠东投资控股有限责任公司在建的厂房及附属设施，实施诺思（绵阳）微系统项目（一期）（项目代码：2018-510704-39-03-317828）。

项目主要建设内容为在租用的综合生产厂房建设洁净生产车间、特气间、研磨液供应间、废液收集及废水处理系统等，设置成膜、图形转移、功能实现、检测等生产设备，建设1条8英寸集成电路生产线；在租用的化学品库内建设化学品暂存及供应系统、危险废物暂存间和一般废物暂存间；在租用的厂房内建设大宗气体站。本项目建成后，将形成年产8英寸滤波器芯片7.2万片的生产能力。

项目总投资90000万元，其中环保投资5580万元，约占总投资的6.2%。

报告表认为项目符合国家产业政策，选址符合当地规划要求，在严格落实报告表提出的环保对策及措施，严格执行“三同时”制度，确保项目污染物达标排放，认真落实环境风险防范措施的前提下，该项目的建设从环保角度可行，我厅原则同意报告表的环境影响评价总体结论和拟采取的各项生态环境保护措施。你公司应严格按照报告表中所列项目的建设性质、规模、工艺、地点和拟采取的环境保护措施进行建设和运行，以确保对环境的不利影响能够得到缓解和控制。

二、项目建设和运行中应重点做好以下工作

（一）落实厂区“清污分流”、“雨污分流”和废水分类收集、处理系统的建设，落实水重复利用措施，减少废水排放量。含氟废水、含氨废水、含铜废水、研磨废水、酸碱废水分类收集预处理后和纯水制备系统反冲洗废水进入最终中和处理系统，经处理达到《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准和绵阳游仙经济开发区污水处理厂进水水质指标要求后，同冷却塔排水、预处理后的生活污水一起通过园区污水管网进入绵阳游仙经济开发区污水处理厂处理。

（二）严格按照报告表的要求，落实和优化各项废气处理设施建设。工艺过程中产生的碱性废气采用酸液喷淋吸收塔处理后由排气筒（高25m）排放，氨排放执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-1993）；CVD工序和干法刻蚀工序产生的工艺尾气采用“电热解+水洗”源头净化装置（POU）处理，处理后的尾气和工艺过程中产生的其它酸性废气，以及污水处理站加盖密闭设置后收集的废气，一并采用碱液喷淋吸收塔处理后由排气筒（高25m）排放，废气中有关污染物排放执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）；相关工序产生的有机废气，采用“沸石浓缩转轮+RTO焚烧系统”处理后由排气筒（高25m）排放，VOC_S排放执行《四川省固定污染源大气挥发性有机物排放标准》（DB51/ 2377-2017）；项目设置有2台2400KW燃气锅炉，运行后应纳入排污许可登记管理。

报告表确定在化学品库边界外设置100m的卫生防护距离，以控制和减小无组织排放废气对周围环境的影响，该范围内现无人居分布。你公司应报告当地政府及有关部门，今后在卫生防护距离内不得建设住宅、学校、医院等环境敏感设施，规划、建设项目应充分考虑其环境相容性。

（三）落实并优化报告表提出的噪声和固废污染防治设施和措施。

主要噪声源应合理布局，在设备选型上应优选低噪声设备，采取隔声、减振、吸声等措施，同时加强机械设备的日常维护，确保厂界噪声达标或不扰民。

本项目运行产生的固体废物应按照“无害化、减量化、资源化”的原则，按报告表要求落实分类收集、储存、运输及处置措施。危险废物暂存场所应按规范建设，设置防雨、防渗、防晒、防流失等措施，避免产生二次污染。项目产生的废酸、废碱、废有机溶剂、废矿物油、含铜污泥等危险废物交由有资质的单位处置；含氨废水处理系统产生的硫酸铵废液暂按危险废物进行管理和处置；废铜电极、废靶材等可由生产厂商回收。

（四）严格落实并优化本报告表提出的地下水防护措施。项目将综合生产厂房内的生产支持区、化学品供应间、废水处理站、废液收集罐区、污泥暂存间、研磨液供应间、事故应急池以及化学品库（含危险废物暂存库等）、柴油发电机房等区域设置为重点防渗区，应分类做好各区的防渗工程，设置地下水污染监控系统，做好地下水水质的长期跟踪监测工作，防止地下水环境污染。

（五）项目的环境风险类型主要是生产区、贮罐区危险化学品的泄漏，以及火灾、爆炸等引发的伴生/次生污染物排放。建设单位应全面落实报告表中提出的风险防范措施，制定并不断完善突发环境事件应急预案，建立企业与园区、政府间的突发环境事件应急体系，定期组织演练，加强内部管理，严格操作规范，防止污染事故的发生。

（六）项目的初步设计，应当按照环境保护设计规范的要求，编制环境保护篇章，落实防治环境污染和生态破坏的措施以及环境保护设施投资概算。建设单位应当将环境保护设施建设纳入施工合同，保证环境保护设施建设进度和资金。

加强施工期的环境管理，合理安排施工时间，优化施工场布设、施工方式，采取有效措施控制和减小施工期噪声及扬尘对周围环境的影响。建设过程中须开展环保工程监理工作，确保各项环境保护措施的有效落实。

（七）项目建成运行后，运行单位应按国家有关规定和监测规范制定自行监测方案并开展相关监测工作，做好相关环境信息公开工作，定期向社会公布污染治理设施运行基本情况和污染物排放数据，接受公众监督。

三、报告表核定的全厂主要污染物排放总量为：大气污染物VOCs 5.46t/a；进入绵阳游仙经济开发区污水处理厂前水污染物COD 172.3t/a，NH₃-N 17.23t/a。全厂重点排放口主要污染物许可排放量应由绵阳市生态环境局在排污许可证发放时予以确认。

四、项目开工前，应依法完备其他相关行政许可手续。

五、建设项目必须严格执行配套建设的环境保护设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投产使用的环境保护“三同时”制度。投产前必须按照国家排污许可证有关管理规定要求，申领排污许可证，不得无证排污和不按证排污。项目竣工后，你公司是建设项目竣工环境保护验收的责任主体，应当按照规定的程序和标准，组织对配套建设的环境保护设施进行验收，编制验收报告，公开相关信息，接受社会监督。

项目环境影响评价文件经批准后，如工程的性质、规模、工艺、地点或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动的，建设单位应当重新报批环境影响评价文件，否则不得实施建设。自环评批复文件批准之日起，如工程超过5年未开工建设，环境影响评价文件应当报我厅重新审核。

六、绵阳市生态环境局和绵阳市游仙生态环境局负责开展该项目的建设期“三同时”监督检查和运行后日常环保监督管理工作。你公司应在收到本批复15个工作日内将批复后的报告表送达绵阳市生态环境局和绵阳市游仙生态环境局备案，并接受各级环保部门的监督管理。

四川省生态环境厅

2020年3月24日

信息公开选项：主动公开

抄送：四川省生态环境保护综合行政执法总队，四川省环境工程评估中心，绵阳市生态环境局，绵阳市游仙生态环境局、游仙高新技术产业园区管理委员会，信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司。